Target cyrkonowy jest materiałem stosowanym w procesie fizycznego osadzania pary (PVD), zwykle używanego do wytwarzania cienkich warstw. Cyrkon (symbol chemiczny ZR) to metal przejściowy o doskonałej odporności na korozję, wysoką temperaturę topnienia i dobrych właściwościach mechanicznych. Cele cyrkonowe są szeroko stosowane w półprzewodnikach, powłokach optycznych, powłokach dekoracyjnych i filmach funkcjonalnych.
Punkt topnienia: 1852 stopnia
Punkt wrzenia: 4400 stopnia
Gęstość: 6,5 g/cm³
Specyfikacje: cel płaski/okrągły cel
Standard implementacji: ASTM B550 GB/T 8769-2010 GB/T 26314-2010
Główne obszary zastosowania
1. Produkcja półprzewodników: Cele cyrkonu są wykorzystywane do osadzania wysokiej stałej dielektrycznej (wysokiej K), takich jak tlenek cyrkonu (Zro₂), dla warstw dielektrycznych bramy tranzystorowej.
2. Powłoki optyczne: Filmy cyrkonu mają wysokie współczynniki załamania światła i dobre właściwości optyczne i są często stosowane w filmach przeciwzadulkowych lub filmach odblaskowych dla urządzeń i soczewek optycznych.
3. Powłoka dekoracyjna: Cele cyrkonu można użyć do przygotowania odpornych na zużycie i odpornych na korozję powłok dekoracyjnych, takich jak zegarki, biżuteria itp.
4. Funkcjonalne cienkie warstwa: cienkie wargi cyrkonu można również stosować do przygotowania ogniw paliwowych, czujników i katalizatorów.
Charakterystyka celów z cyrkonu
Wysoka czystość: czystość celów cyrkonu jest zwykle wymagana, aby osiągnąć ponad 99,9%, aby zapewnić wydajność filmu.
Wysoka gęstość: cel wymaga wysokiej gęstości, aby zmniejszyć wytwarzanie cząstek podczas rozpylania.
Dobra jednolitość: skład chemiczny i mikrostruktura celu muszą być jednolite, aby zapewnić spójność filmu.
Proces przygotowania
Przygotowanie celów z cyrkonu zwykle obejmuje następujące kroki:
1. Topienie: Przygotuj wlewki cyrkonu o wysokiej czystości przez próżniowe topienie łuku lub topienie wiązki elektronów.
2. Kucie i toczenie: Popraw mikrostrukturę i właściwości mechaniczne materiału poprzez przetwarzanie gorące.
3. Obróbka: Przetwarzaj materiał w kształt i rozmiar odpowiedni do wyprodukowania.
4. Czyszczenie i opakowanie: Upewnij się, że powierzchnia docelowa jest czysta, aby uniknąć zanieczyszczenia.
Popularne Tagi: Target z powłoką cyrkonu, chińskie powłoki do celów cyrkonicznych, dostawcy, fabryka, Trwałe śruby molibdenu, Płytka molibdenu, Śruby wiązania molibdenu, Bezszwowy płyt wolframowy, szpula z drutu molibdenu 1 kg, pojemniki z obróbką wolframu
